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学科团队

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学科团队电子科学与技术

电子科学与技术

刘玉岭


 
主要研究方向:微电子技术与材料

学术称号
   国家级有突出贡献中青年专家、全国高校、天津市科技优秀先进工编辑、河北省高层次拔尖人才、河北省资深省管优秀专家、河北省首届十大发明家、河北省后备院士人才、河北省政府“巨人计划”领军人才、天津市劳动模范。国家CMP联盟咨询委员会专家、中国清洗协会技术委员会理事长(曾)、微纳电子技术常务理事、半导体技术理事。

所获奖项及重大科研成果
1.1987年,硅外延BC技术,科技部国家技术发明奖三等奖
2. 1990年,硅片无磨料均腐蚀FA/O抛光液,科技部国家技术发明奖三等奖
3. 1990年,硅器件衬底片滑移线消除技术,科技部国家技术发明奖四等奖
4. 1999年,用化学方法提高固体表面光洁度的研究及应用,科技部国家技术发明奖三等奖
5. 2002年,超大规模集成电路纳米磨料化学机械全局平面化新技术,天津科委天津市技术发明奖一等奖
6. 1983年,FNO-MOS型抛光液,科技部国家技术发明奖四等奖
7. 2006年,固定表面高精密加工技术及专用纳米材料,天津科委天津市技术发明奖二等奖
8. 1993年,硅器件与外延材料关系的研究,河北省政府河北省科技进步奖二等奖
9. 1997年,FA/O高纯多功能界面活性剂的研究及在微电子中应用,天津市政府天津市科学技术进步奖二等奖
10. 2013年,河北省科学技术突出贡献奖,河北省政府河北省科学技术突出贡献奖
11、20-14nm集成电路碱性抛光液与清洗液的研发,国家02重大专项,2016-2018,首席专家
12、极大规模集成电路平坦化工艺与材料,国家02重大专项前瞻性应用示范项目,2009-2012,主持。成果获得优秀,结论:原始创新、性能先进、适用于工业应用。

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